氩气回收装置
主要应用与单晶硅行业，氩气作为保护气，尾气为富含氩的气体，经过处理后，产出纯氩气，返回单晶硅炉子作为保护气，减少液氩用量，降低成本
加氢除氧制氩工艺/无氢除氧制氩工艺/PSA-深冷耦合增效制氩工艺
加氢除氧制氩工艺
无氢除氧制氩工艺
PSA-深冷耦合增效制氩工艺
优势
制氩工艺
01
- 拥有加氢除氧制氩工艺
- 无氢除氧制氩工艺
- PSA-深冷耦合增效提氩工艺
运维优势
02
- 升级除碳，除氧催化剂，不易粉化
- 使用寿命更长
- 降低设备维护成本
优化系统设计
03
- 优化系统设计，做到精确控制
- 对氧波动适应性强，系统稳定
优化加氢工艺
04
- 优化加氢工艺设计，避免了冷箱内氢和氧介质的接触
- 消除了氢串氧造成的爆炸风险，优化加氢工艺计算
- 减少了循环(氢)压缩机的流量，降低了能耗和一次设备投资
